隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展和市場(chǎng)需求，由于激光加工具有加工速度快、無需直接接觸、易于集成等優(yōu)點(diǎn)，激光技術(shù)逐漸深入半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，為半導(dǎo)體無限追求更小更精密的微觀世界，貢獻(xiàn)著至關(guān)重要的作用，包括在激光焊接、激光切割、激光打標(biāo)、激光清洗等工藝環(huán)節(jié)。
微波模塊常用的殼體材料有銅、可伐、鋁合金和鋁硅等。激光封焊工藝具有可靠性高、應(yīng)用范圍廣、熱變形小、密封性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，正越來越廣泛地在微波模塊的氣密性得到應(yīng)用。
激光焊接功率密度高、釋放能量快，在焊接半導(dǎo)體精密零部件時(shí)焊縫平整、美觀，不會(huì)引起材料的表面的損傷以及變形，也不用對(duì)焊縫做后期處理。
激光微焊技術(shù)可精確焊接2mm以下，能夠?qū)﹄娐钒暹M(jìn)行封裝加工，實(shí)現(xiàn)引線與印刷電路、硅板的焊接、細(xì)導(dǎo)線與薄膜的焊接以及細(xì)導(dǎo)線與集成電路的焊接等。
激光切割的非接觸過程不會(huì)對(duì)半導(dǎo)體周圍區(qū)域造成任何不必要的熱損傷。因?yàn)檫@些零件會(huì)安裝在高度復(fù)雜的機(jī)械設(shè)備上，所以必須保證它們的質(zhì)量不受影響。激光切割不僅精度高，而且對(duì)復(fù)雜的形狀也有切割能力
一種無污染、無磨損、非接觸的新標(biāo)記工藝。激光打標(biāo)利用高密度的激光束對(duì)目標(biāo)作用，使目標(biāo)發(fā)生物理或化學(xué)變化，使目標(biāo)表面呈現(xiàn)出可見圖案的標(biāo)記方式；實(shí)現(xiàn)將產(chǎn)品信息快速標(biāo)記于極小的空間中，解決了半導(dǎo)體芯片標(biāo)識(shí)難題。目前，在晶片上制作激光標(biāo)識(shí)碼是成為一種潛在的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
集成電路若在制造時(shí)因?yàn)榍逑床坏轿欢霈F(xiàn)微小顆粒污染材料的問題，就會(huì)影響材料的使用效率。激光清洗具有無研磨、非接觸、無熱效應(yīng)和適用于各種材質(zhì)的物體等清洗特點(diǎn)，能夠滿足各類材料清洗需要，不僅去除材料表面微小顆粒的效果顯著，同時(shí)還能夠保證模板完整，不會(huì)出現(xiàn)碎裂現(xiàn)象，產(chǎn)生環(huán)境污染的概率極小，能夠兼得經(jīng)濟(jì)效益與環(huán)保效益。
